真空腔体的清洁维护需按规范步骤操作，避免损伤腔体影响真空性能：
一、清洁前准备
提前将腔体完全破真空，待内部温度降至室温后再开盖操作。
准备无尘布、异丙醇、硅胶软刮板、细棉签、镜头纸等专用工具，严禁使用钢丝球、砂纸等硬物。
二、日常常规清洁
用无尘布蘸取少量中性清洁剂，轻轻擦拭腔体内壁，去除表面浮尘和残留污染物。
用软刮板刮除内壁附着的顽固结块残留，再用蘸取酒精的无尘布反复擦拭干净。
三、死角专项清洁
用细棉签蘸取酒精，深入擦拭测温孔、排气阀小孔内壁，避免积料堵塞。
用软毛刷蘸取清洁剂，刷洗焊缝、密封槽等易积污的缝隙位置，防止残留腐蚀腔体。
四、密封件与光学部件维护
用无尘布擦拭腔体密封刀口，去除表面细小杂质，检查O型圈无变形、无老化。
观察窗等光学部件用镜头纸蘸无水酒精，从中向外单向轻擦，避免留下划痕。
五、收尾与复检
清洁完成后用干燥氮气吹扫腔体内部，确认无残留清洁液和杂物。
关闭腔体启动抽真空流程，检查真空度恢复速度，确认无异常泄漏。
