真空腔体的检漏方法有哪些种类
目前主流的真空腔体检漏方法可按精度和适用场景分为以下几类：
一、粗检类方法
保压测试法：将腔体抽到目标真空度后关闭隔离阀，持续监测压力变化，通过压力上升速率判断是否存在明显漏点，操作简单无需额外设备。
气泡检漏法：向腔体内充入正压气体后浸入水中或表面涂皂液，观察气泡溢出位置定位大漏点，适合低精度快速排查场景。
二、中精度定位方法
溶剂喷射法：保持腔体抽真空状态，向可疑位置喷涂乙醇，若真空计读数出现短暂明显下降，即可定位对应漏点，成本低易操作。
真空计检漏法：利用热偶计、电离计对不同气体的响应差异，向可疑处喷入对应示踪气体，通过读数变化判断漏点，适配常规镀膜机等设备。
三、高精度方法
氦质谱检漏法：将检漏仪接入真空系统，用氦气喷枪扫描腔体外侧，通过质谱仪捕捉进入系统的氦信号，可检测低至10⁻¹² Pa·m³/s的微小漏点，是工业和科研领域的金标准方法。
检漏法：非接触式捕捉漏点处气体流动产生的信号，无需破坏系统原有状态，适合运行中的真空系统快速排查。
