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真空阀门:什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?

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真空阀门:什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?

发布日期:2021-08-11 作者: 点击:

什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?


质量流量计,即MASS FLOW METER(缩写为MFM),真空阀门是一种精确测量气体流量的仪表,


其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。

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质量流量控制器,即Mass flow controller(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,真空阀门


更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,真空阀门


即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。


简单地说,质量流量控制器就是一个稳定装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。 

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