真空腔体浅谈常见的检漏方法

真空腔体浅谈常见的检漏方法

真空系统告诉你真空处理中的检漏有三种:氦质谱、真空密封和真空计。

氦质谱检漏

在真空检漏中有许多应用。氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的气密性检测仪，它利用氦作为泄漏指示器。它由分析器、离子源、分析器、冷阴极电离规和收集器、质谱室、抽气系统和电气元件组成。质谱室中灯丝发射的电子在室内来回振动，与室内气体和通过漏孔进入室内的氦气碰撞，使其电离成正离子。这些氦离子在加速电场的作用下进入磁场，在洛伦兹力的作用下偏转，从而形成弧形轨道。改变加速电压可以使不同的离子通过磁场和接收狭缝到达接收极并被检测。同时，氦注入法和氦吸收法是氦质谱检漏的两种常用方法。真空阀门

二、真空密封法

用真空泥浆封住可疑的漏洞。这时要注意真空度的变化。如果真空泥贴上后真空度上升很快，去掉后又下降，说明是漏了。然而，这种方法在实际测试中很少使用。

三、真空计检漏方法

一些真空计的读数与气体类型有关，例如电离真空计和热电偶真空计。当气体或液体用作泄漏指示器时，这些真空计就成了检测器。一般镀膜机上都有真空计，这也是实践中常用的检漏方法。热电偶的泄漏物质包括二氧化碳、丁烷、酒精等。热电偶响应较慢，要仔细观察。电离计中使用的泄漏指示物质主要有氦气、氩气、酒精等。