真空系统的组成

  真空系统的组成

  1.真空系统由真空设备本体（如真空炉、真空容器等）、真空泵、冷阱、真空导管、阀门、真空计、波纹管和过滤器组成。

  2.真空泵是真空系统的心脏，工业上一般使用机械真空泵、增压泵和扩散泵。 

机械泵有旋片真空泵、固定叶片泵、滑阀泵、水环真空泵、螺杆泵等，可单独作为低真空系统的主泵使用。 也可用作高真空系统的前置泵。 扩散泵的工作压力为1.3x10-1~6.7x104Pa（无冷阱）和1.3x10-5~1.3x10-7Pa（有冷阱）。

  3.可用作高真空系统的主泵。 运行时必须配备前端泵。 泵。 机械泵的工作性能在1pa以下很差。 为了更好地与扩散泵配合，可在机械泵和扩散泵之间设置增压泵。 增压泵可选择罗茨泵和油增压泵。