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真空腔体中抽气管道的设计原则-真空腔体

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真空腔体中抽气管道的设计原则-真空腔体

发布日期:2021-09-01 作者: 点击:


  为一个工艺选择真空泵时,工艺室和泵之间的抽气管道可能和泵的选择一样重要。要使腔体抽气速率达到大,需要笔直的抽气管道(长度短)并使用直径尽可能大的管道。真空腔体

  看起来似乎很简单,但是这里有许多因素需要考虑。实际上,如果我们从物理学角度考虑,就可以明确哪些是关键因素。真空腔体

  在稳定状态的条件下,如果抽气管道内没有气源(泄漏)或气体减少(冷凝),抽气管道任何截面的质量流量必须相同。简单而言,进入工艺室的气体必须从泵出来。

  在某种程度上管道短而粗是好的

  采用短的大直径抽气管道尽量提高管道流导是不错的做法,但只限于当抽气速度S接近泵速(Sp)极值的情况。

      除此之外,通过增加管道直径(成本也会相应增加)来增加流导并不能显著提高工艺室抽气速率;换而言之,如果抽气管道流导受限并且由于物理因素不能增加,当(S)接近管道流导(C)极值,一味通过增加应用泵速来提高工艺抽气速度也是不经济的。真空腔体

     那么答案是什么呢?

      管道尽可能短

      采用的管道直径至少等于泵入口法兰的直径

      尽量减少弯头数目

      考虑管道流导(C)和应用泵速(Sp),一个变量的值大于另一个值的三四倍是不经济的做法

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