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降低真空系统漏率方法

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降低真空系统漏率方法

发布日期:2020-01-16 作者: 点击:

降低真空系统漏率方法


真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键,真空系统的结构合理与否,真空系统将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。


1、真空系统尽可能地避免出现小曲率半径的死角,要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。


2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道,采用圆弧过渡,使气路畅通无阻,但真空系统要考虑清洗清扫的方便性。

真空系统

3、认真设计真空室内各种连接件的结构,使气路畅通,避免气路堵塞。


4、打磨抛光真空系统内表面,表面越光亮就越不易气体吸附,越容易获得真空。


5、尽可能减小真空室的体积,缩短管路系统。


密封形式的选择


密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式,对于人工晶体生长设备,一般需要的真空度在lO-3Pa以下,因此,无需采用金属密封。以TDR--70型单晶炉为例,我们选择磁性流体密封作为旋转动密封,选择高精度大伸缩量的焊接波纹管进行移动密封,小直径轴的旋转密封选用“O”型密封圈或威尔逊密封,各种静密封则采用“0”型密封圈密封形式,直径压缩比为25%。


密封件材质的选用:真空度在lO-3Pa以下的真空系统,密封材料一般选择橡胶密封圈即可满足要求。但是,考虑到实际工作条件的需要(真空室内温度最高可达2300oC,密封部位进行水冷后,真空系统其温度在80oC左右,个别处温度可达100oC以上)。所以,要选择比较理想的密封圈材料


用于真空密封橡胶材料,除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外,还要求有低的渗透率和出气率,良好的耐热性耐油性,真空系统同时要有一定的强度、硬度和弹性等。


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