一、安装前的安全确认
系统完全泄压
安装前确认真空系统已经完全泄放到大气压，管道内没有残留压力。带压操作是真空阀门安装大的安全隐患，残余压力可能导致阀门飞出或密封件弹出伤人。
阀门要逐个检查
开箱后检查阀体有没有裂纹、波纹管有没有破损、密封面有没有划伤。有任何的阀门不能装上去，装上去就是隐患。核对型号规格和采购清单是否一致，装错型号轻则漏气重则系统报废。
工具和环境要到位
准备好力矩扳手、无尘布、真空硅脂、铜垫片（CF法兰用）。安装环境要干净无尘，灰尘是真空系统的天敌，安装时掉进去一粒灰后面就够你受的。
二、安装操作中的安全要点
法兰螺栓要对角分次拧紧
这是容易出错的地方。螺栓按对角顺序分三次逐步拧紧，每次拧三分之一的力矩。一次性拧死会导致密封面受力不均，要么漏气要么把法兰拧变形。力矩值严格按厂家规定来，别凭手感。
波纹管不能受侧向力
波纹管是真空阀门脆弱的部件，安装时不能用扳手卡阀体来拧螺栓，侧向力会让波纹管变形甚至破裂。正确做法是固定法兰，只让螺栓承受轴向力。搬运阀门时也要轻拿轻放，不能摔不能磕。
密封面处理要仔细
CF法兰的铜垫片每次拆装都要新的，不能重复使用。铜垫片装之前用无尘布擦干净密封面，不要用手直接摸。涂真空硅脂要均匀薄薄一层，涂多了会污染真空腔体。KF法兰的O型圈装之前检查有没有老化裂纹，装的时候不要用尖锐工具，用专用安装工具或戴手套操作。
连接式阀门要控制热输入
连接连接的阀门，连接时要控制热输入量，温度太高会损坏阀体内部密封件和波纹管。焊完要等自然，不能用水浇，急冷会导致阀体开裂。
三、人员安全防护
戴防护手套
全程戴手套或橡胶手套，手上的汗液和油脂沾到密封面和阀体内壁，烘烤后会变成污染源，影响真空度。更重要的是防止割伤，不锈钢法兰边缘和螺栓都很锋利。
戴护目镜
拧螺栓时铜垫片或O型圈可能弹出，清洁法兰面时碎屑可能飞溅。护目镜能挡住这些意外，别嫌麻烦。
高处作业要系安全带
阀门装在高处时系安全带，工具用绳子绑在身上，防止掉落砸人或砸坏下面的设备。
四、安装后的安全检查
先做保压测试再抽真空
装完不要急着抽真空，先用氮气保压30分钟，压力不掉说明安装没问题，可以进入下一步。保压时人不要站在阀门正对面，万一有泄漏高压气体喷出来很危险。
用氦质谱检漏仪复测
保压合格后抽真空，用氦质谱检漏仪逐个检测阀门和法兰连接处。漏率不达标的返工，不能凑合。
电气联锁要测试
气动和电动阀门安装后要测试联锁功能，紧急停止按钮按下去阀门能不能立刻关闭或打开。保护逻辑不对的要调整，关键时刻这就是安全保障。
五、容易忽视的危险
装反方向
阀门有气流方向标识，装反了不仅不工作还可能损坏内部结构。安装前看清楚箭头再装。
混用螺栓
不同真空等级的法兰螺栓不能混用，CF法兰要用不锈钢螺栓，普通碳钢螺栓在高真空下会放气。
忽略排气管路
安全阀和排气阀的出口接到安全位置，不能对着人。阀门泄压时气体温度很高。
六、一句话总结
泄压后再动手，对角分次拧螺栓，波纹管不受侧向力，铜垫片每次新的，戴手套戴护目镜，装完先保压再检漏，电气联锁测一遍，安全比什么都重要。
