清洗前的准备工作
先确认真空系统已经完全泄压，内部没有残留气体。准备好专用清洗液、无尘布、软毛刷、橡胶手套和护目镜。清洗场地要通风良好，远离明火和热源，因为清洗液大多是易燃品。把真空腔体从设备上拆下来，或者关闭所有阀门把需要清洗的部分隔离出来。
清洗步骤（按顺序来）
一步：粗洗去大块污物
用软毛刷轻轻刷掉真空腔体内壁、电表面、绝缘子上的灰尘、油污和碳化物。动作要轻，别用力过猛，真空腔体内壁很薄，磕碰容易变形。绝缘子是陶瓷件，磕碎了整个系统就废了。
二步：浸泡清洗
把拆下来的零件放进清洗液里浸泡15到30分钟，让顽固油污和碳化物软化溶解。真空灭弧室的波纹管不要长时间泡，泡太久会老化，控制在10分钟以内。
第三步：细洗擦净
用无尘布蘸清洗液，逐个擦拭每个零件的表面。重点擦电极触头（触头上的电弧烧蚀物要擦干净，不然会影响真空度）、屏蔽罩内壁、绝缘子表面、波纹管外壁。擦的时候单向擦，不要来回蹭，避免把脏东西带到干净的地方。
第四步：漂洗
用干净的清洗液再擦一遍，把残留的污物和一遍的清洗液带走。如果条件允许，用清洗机漂洗效果更好，能洗到肉眼看不到的缝隙。
第五步：干燥
用干净的无尘布吸干表面液体，然后放在干净通风的地方自然晾干，或者用热风枪低温吹干（温度不超过60度）。千万不要用火烤或者高温烘干，高温会损坏密封件和绝缘件。
第六步：检查
干燥后逐个目视检查：内壁有没有划痕、电极有没有烧蚀坑、绝缘子有没有裂纹、波纹管有没有破损、密封面有没有变形。有任何一项不合格，这个零件就换新的，不要凑合。
不同部件的清洗要点
真空灭弧室（核心部件）
这是整个系统最金贵的零件，清洗时格外小心。电极触头上的金属蒸气沉积物用细砂纸轻轻打磨，然后擦干净。波纹管只能用布擦，不能用刷子刷，不能拧，不能拉伸。屏蔽罩内壁的氧化层要彻底清除，不然会影响绝缘性能。
阀体内部用清洗液冲洗，阀杆和密封面用无尘布仔细擦。O型密封圈清洗后涂一层真空硅脂，防止老化粘连。
真空管道
管道内壁用长柄刷子伸进去刷，或者用压缩空气从一端吹另一端，把里面的碎屑吹出来。法兰密封面要擦得干干净净，一粒灰尘都可能导致漏气。
真空泵（如果一起清洗）
先放掉泵油，用清洗液冲洗泵腔内部，特别是旋片和缸体之间的缝隙，这里容易积碳。冲洗干净后重新加新泵油，油量按标准线加，多了少了都影响真空度。
注意事项（每条都重要）
环境要求
清洗要在无尘或少尘的环境里操作，灰尘是真空系统的天敌，一粒灰尘进去就可能导致真空度下降。有条件的话在洁净室或者用塑料布围起来操作。
手套要戴
全程戴橡胶手套或丁手套，手上的汗液和油脂沾到真空零件上，烘烤后会变成污染源，影响真空度。也不要用手直接触摸电极和镜面
清洗液选择
用无水乙醇或丙酮，不要用水。水会残留在零件表面，干燥后留下水痕，而且水会加速金属氧化。清洗液用完要密封保存，别让它吸潮。
力度控制
所有操作都是轻拿轻放。真空灭弧室的玻璃或陶瓷外壳，用力过大会碎。波纹管是薄壁件，一拧就破。电极触头是精密加工面，磕碰会导致电场分布不均。
干燥要彻底
零件表面残留液体会在抽真空时蒸发，释放气体，导致真空度达不到要求。干燥后最好用热风枪低温吹一遍，确认没有潮湿感再装配。
密封件要更换
清洗时拆下来的O型圈、垫片，建议直接换新的。旧密封件就算看着没坏，弹性也已经下降了，装回去可能漏气。
装配顺序不能乱
清洗完按拆的反顺序装回去。先装内部零件，再装外部零件。每个法兰螺栓按对角顺序分三次拧紧，不要一次性拧死，防止密封面受力不均导致漏气。
清洗后要测真空度
装配完成后，用真空计测量系统真空度。真空灭弧室要求不低于10的负4次方帕，整个真空系统根据用途不同有不同标准，达不到就要重新检漏和清洗。
常见错误（别踩坑）
用水清洗：水残留导致氧化，真空度下降。
不戴手套操作：指纹油脂变成污染源。
波纹管泡太久：清洗液腐蚀橡胶，波纹管老化开裂。
干燥不彻底就装配：残余液体蒸发放气，真空度不达标。
旧密封圈反复用：弹性丧失，装配后慢性漏气。
清洗完不测真空度：看着干净不代表真空度合格，数据说了算。
一句话总结
先泄压再拆件，戴手套用无水乙醇，轻擦轻刷别碰波纹管，彻底干燥换新密封圈，装完测真空度，数据合格才算完工。
