真空阀门：真空镀膜设备技术要求

真空阀门技术要求：

一、设备正常工作条件 

1. 环境温度：10-300 c    

2. 相对湿度：不大于75%  

3. 冷却水进水温度：不高于250 c  

4. 冷却水质：城市自来水或相当质量的水 

5. 供电电源：380V 三相 50hz或220V 单相50hz（由所有电器需要而定）：电压波动范围：342-399V或198-231V；频率波动范围：49-51hz    

6. 设备所需的压缩空气、液氮、冷水、热水等压力、温度、消耗量等，均应在产品使用说明书中写明。真空阀门

设备周围环境整洁、空气清洁、不应有引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。