真空腔体常用的清洗方法

常用的的真空腔体清洗溶剂包括含洗涤剂的水、石油分馏物、稀酸、碱、有机溶剂、各种金属清洗剂等.根据表面附着物的不同,需要用不同的溶剂进行清洗.真空腔体如锈蚀物需要用酸性金属清洗剂,矿物油脂需要用有机溶剂等.

1、超声波清洗

超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的.

2、电解侵蚀清洗

电解侵蚀清洗类似于电解抛光,是指在溶剂中利用电解作用,清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物,主要用于化学稳定性较高的合金部件,如不锈钢,耐热钢等.

3、蒸汽脱脂清洗

蒸气脱脂指被粘物表面用餐剂的蒸气不断清洗以达到脱脂的目的,适用于表面类脂膜和油脂膜的清洗,操作方法简单,可以实现大批量清洗.一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后,用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果.

4、放电清洗

放电清洗一般用于高真空、超高真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机材料、真空腔体几何形状及其与表面的关系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.

5、氮气清洗

氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、真空腔体吸留时间短,容易被抽走的特性,用氮气冲洗被污染的真空系统,同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空系统的抽气时间.