真空镀膜机保养知识 
1. 关闭泵加热系统，然后分离蒸镀室（主要清洁灰尘，于蒸镀残渣） 
2. 关闭电源或真空系统程序打入维护状态 

3.清洁卷绕真空系统（几个滚轴，方阻探头，光密度测量器） 
4. 清洁中罩室（面板四周） 
5. 泵系统冷却后打开清洁（注意千万不能掉入杂物，检查泵油使用时间与量计做出更换或添加处理） 
6. 检查重冷与电气柜设备